溅射沉积技术 定义 溅射镀膜是指在真空室中，利用荷能粒子轰击靶材表面，通过粒子动量传递打出靶材中的原子及其它粒子，并使其沉淀在基体上形成薄膜的技术。溅射镀膜技术具有
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气体的放电 在PVD实际中，你是否遇到过开靶点不起来，需要充入更多的工作气体或多关闭高阀才能正常点靶，是否遇到在辉光清洗时，产品打火，烧蚀坏产品的情况。其实这些都与气体
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