常用真空术语
1.标准环境条件 standard ambient condition: 温度为20℃,相对湿度为65%,大气压力为101325Pa=1013.25mbar=760Torr。
2.气体的标准状态 standard reference conditions for gases:温度为0℃,压力为:101325Pa。
3.压力(压强)p pressure:气体分子从某一假想平面通过时,沿该平面的正法线方向的动量改变率,除以该平面面积或气体分子作用于其容器壁表面上的力的法向分量,除以该表面面积。注:“压力”这一术语只适用于气体处于静止状态的压力或稳定流动时的静态压力。
4.帕斯卡Pa pascal:国际单位制压力单位,1Pa=1N/m2。
5.托Torr torr:压力单位,1Torr=1/760atm。
6.标准大气压atm standard atmosphere:压力单位,1atm=101325Pa。
7.毫巴mbar millibar:压力单位,1mbar=102Pa。
8.分压力 partial pressure:混合气体中某一组分的压力。
9.全压力 total pressure:混合气体中所有组分压力的总和。
10.真空 vacuum:在指定空间内,低于环境大气压力的气体状态。
11.真空度 degree of vacuum:表示真空状态下气体的稀薄程度,通常用压力值来表示。
12.真空区域 ranges of vacuum:
真空区域
压 力
Pa
Torr
低真空
105~102
760~1
中真空
102~10-1
1~10-3
高真空
10-1~10-5
10-3~10-7
超高真空
<10-5
<10-7
13.气体 gas:不受分子间相互作用力的约束且能自由地占据任意空间的物质。注:在真空技术中,“气体”一词不严格地应用于非可凝气体和蒸汽。
14.分子数密度n,m-3 number density of molecules:在某瞬时,气体中某点周围体积内的分子数,除以该体积。
15.平均自由程ι、λ,m mean free path:一个分子与其它气体分子每连续二次碰撞走过的路程,叫自由程。相当多的不同自由程的平均值,叫平均自由程。
16.碰撞率ψ collision rate:在给定的时间间隔内,一个分子(或其它规定粒子)相对于其它气体分子(或其它规定粒子)运动,受到的平均碰撞次数,除以该时间。这个平均碰撞次数是应在足够多的分子数和足够长的时间间隔下取得。